超纯水设备是一种用于生产超纯水的系统，能将水中的杂质如离子、溶解气体、有机物和微生物等几乎完全去除。

1、设备组成

（1）预处理部分：包括原水箱、原水泵、全自动过滤器、全自动软化水器、保安过滤器等。原水箱调节系统供水，原水泵为后续设备提供动力，全自动过滤器去除大颗粒悬浮物等，全自动软化水器降低水的硬度，保安过滤器去除更细微的杂质。

（2）反渗透部分：由高压泵和反渗透系统组成。高压泵为反渗透系统提供压力，反渗透膜元件利用半透膜的选择透过性，截留绝大多数溶解盐类、重金属等杂质，降低水中离子浓度。

（3）后处理部分：包括中间水箱、EDI增压泵、EDI设备、超纯水箱等。中间水箱调节供水，EDI设备深度除盐，进一步提高水质，超纯水箱用于储存超纯水。

2、工作原理

（1）预处理：通过砂滤去除大颗粒杂质，碳滤利用活性炭吸附有机物、余氯等。

（2）反渗透：在压力作用下，半透膜只允许水分子通过，截留溶解盐类、重金属等杂质。

（3）离子交换：利用阴离子和阳离子交换树脂的化学吸附作用，去除水中残余离子。

（4)后处理：通过紫外线消毒、超滤或微滤等，去除残余细菌、微粒及热源等。